公开征集对《半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、1项行业标准外文版和38项推荐性国家标准计划项目的意见

　　根据标准化工作的总体安排，现将申请立项的《半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版项目和《环境污染防治设备术语》等38项推荐性国家标准计划项目予以公示(见附件1、2、3)，截止日期为2023年12月16日。如对拟立项标准项目有不同意见，请在公示期间填写《标准立项反馈意见表》(见附件4)并反馈至我司，电子邮件发送至KJBZ@miit.gov.cn(邮件主题注明：标准立项公示反馈)。

　　公示时间：2023年11月16日-2023年12月16日

　　联系电话：010-68205241

　　地址：北京市西长安街13号工业和信息化部科技司

　　邮编：100804

　　附件：

　　1.《半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准制修订计划(征求意见稿)

　　2.《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版计划(征求意见稿)

　　3.《环境污染防治设备术语》等38项推荐性国家标准制修订计划(征求意见稿)

　　4.标准立项反馈意见表

　　工业和信息化部科技司

　　2023年11月16日